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數字式四探針測試儀SX1934

更新時間:2020-11-11      點擊次數:534

數字式四探針測試儀  型號:SX1934
產品特點 
四探針測試儀是根據單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M 標準設計的半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器。 
儀器以大規模集成電路為核心部件,采用旋扭式開關控制,及各種工作狀態LED指示。應用微計算機技術,使得測量讀數更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩定性好、易操作。 
測量范圍 電阻率/Range:10-4—105Ω/□(可擴展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance:10-3—106Ω/□ 電阻/resistance:10-6—105Ω 
可測晶片直徑(Z大) φ100mm(標配),方形230×220mm(Z大) 
Z大電阻測量誤差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數±2個字 
外形尺寸 400mm×440mm×120mm 
儀器重量 電氣主機:約4kg   測試臺:約5kg 
測試環境 溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%; 無高頻干擾 無強光照射 
電源 220V±10%(50Hz) 功耗≤35W 
探頭 
Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優異的高分子材料、耐磨和硬度高的探針研制的測量數據穩定、可靠、準確度高、耐用性能好四探針探頭。所有技術指標符合國家標準,同時符合ASTM標準有關規定。 
間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻≥1000MΩ; 機械游移率:≤1.0%;
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)

 

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